產品特點
u 7寸彩色觸摸屏互動操作界面，自動控制監(jiān)測工藝參數(shù)狀態(tài)，20個配方程序，工藝數(shù)據可存儲追溯。
u PLC工控機控制整個去膠過程，手動、自動兩種工作模式。
u 石英真空艙，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。
u 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應用。
u 采用花灑式多孔道進氣方式，改變單孔進氣不均勻問題。
u 采用防腐數(shù)字流量計，實現(xiàn)對氣體輸入精準控制。標配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體。
u HEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u 處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
u 樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
u 安全保護，艙門打開，自動關閉電源，機器運行、停止提示。
技術參數(shù)
型號 | 5系列 | 5plus系列 |
艙體尺寸 | D300xΦ150mm | D300xΦ150mm |
艙體容積 | 5.2L | 5.2L |
艙體材質 | 石英玻璃 | 石英玻璃 |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動匹配 | 自動匹配 |
激發(fā)方式 | 電感耦合（ICP） | 電感耦合（ICP） |
射頻功率 | 10-1000W可調 | 10-300W可調（可選10-600W） |
處理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
氣體控制 | 質量流量計（MFC）（標配單路，可選雙路）流量范圍0-500SCCM（可調） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?或其他混合氣體等（可選） | |
時間設定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時間 | 1分鐘 | |
極限真空 | ≤1Pa | |
產品尺寸 | L550xW550xH420mm | |
包裝尺寸 | L650xW610xH620mm | |
電源 | AC220V 50/60Hz，1152/452(752)W所有配線符合《低壓配電設計規(guī)范GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設計規(guī)范》等國標標準相關規(guī)定。 | |
整機重量 | 52kg | |
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