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集成電路車間是為了滿足半導體制造工藝需求的潔凈室，該無塵車間對環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔凈室，集成電路制造無...
集成電路無塵室和磁盤制造車間為代表的電子工業工程潔凈室（區）除了對微粒的嚴格控制外，還對溫濕度的控制、照度（甚至光源要求）微震等要求更嚴格，消除靜電對生產產品的...
集成電路芯片車間是包括一硅基板、至少一電路、一固定封環、一接地環及至少一防護環的電子元件的環境車間。
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