相關資料：
產品特點：
1、采用FPD和微焦點X射線管的組合，透視圖像更清晰。
2、可達60º的傾斜觀察。
3、大樣品出入口和大載物臺提高生產效率。
4、測量簡單，一鍵操作即可獲得測量結果。
5、功能多樣化，為操作者提供足夠支持。
規格參數：
| 型號： | SMX-1000 Plus | SMX-1000L Plus |
| P/N： | S362-83200-96 | S362-83300-96 |
| 空間分辨率： | 5μm（JIMA標樣） | 5μm（JIMA標樣） |
| 可搭載尺寸： | 350X400mm | 570X670mm |
| 實際檢查尺寸： | 300X350mm | 520X620mm |
| 可搭載樣品質量： | 5kg | 5kg |
| 接收部傾斜： | 60º | 60º |
| 接輸出電壓： | 90kv（10W） | 90kv（10W） |
| 檢測器： | 平板檢出器 | 平板檢出器 |
| 檢查視野： | 約1.7~35mm | 約1.7~35mm |
| 放大倍數： | 約8~161倍 | 約8~161倍 |
| 功率： | AC100V 1kVA | AC100V 1kVA |
| 外形尺寸： | 995（W）X990（D）X1,285（H）mm | 1,490（W）X1,525（D）X1,325（H）mm |
| 重量： | 約500kg | 約950kg |
FPD（平板檢測器）圖像更清晰：
可達60º的傾斜觀察：
步進功能：
步進功能，是指讓載物臺等距離并順次移動，進行檢查的功能，在檢查托盤形狀的樣品時
高效實用。操作人員只要肉眼看著順序切換的圖像畫面進行判斷即可。
圖像條件的預設功能：
只要從工件種類一覽中選擇相應種類，即可調出適合觀察部位（材質）
圖像條件的預設值作為設定條件。
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