JKZC-ST-5CD五軸納米掃描臺
JKZC-ST-5CD 五軸納米掃描平臺基于微納柔性機構和壓電執行器實現超高分辨力納米運動，通過高性能納米伺服系統實現閉環控制，具有亞納米級運助分辨率、納米級運動精度和高速、高動態軌跡掃描功能。
1、典型應用
掃描顯微鏡
生物技術
顯微成像/操縱
干涉測量
超分辨率顯微鏡
掩模/晶圓定位
計量
2、技術特點
亞納米級分辨率
超高定位精度
無摩擦柔性鉸鏈導向
超高真空兼容性
高速、高動態
多運動模式:定位/掃描
3、2D尺寸圖
4、規格參數
JKZC-ST-5CD | 單位 | |
運動軸 | X,Y,Zθx,θY | |
驅動類型 | 壓電陶瓷 | |
XY/Z向上的閉環行程 | 60/60/50 | μm |
θx/8v/8Z向上的閉環行程 | 100/100/100 | μrad |
X/Y/Z向上的閉環分辨率 | 1/1/1 | nm |
θx/θY/θZ向上的閉環分辨率 | 0.1/0.1/0.1 | μrad |
X/Y/Z向上的線性差 | 0.01 | % |
θx/θV/θZ向上的線性差 | 0.1 | % |
X/Y/Z向上的重復定位精度 | 5/5/5 | nm |
θx/θY/θZ向上的重復定位精度 | 士0.1/士0.1/士0.15 | μrad |
平面度 | 15 | nm |
X/Y/Z向上的空載諧報頻率 | 110/110/200 | HZ |
負載 | 1 | Kg |
傳感器類型 | 電容傳感器 | |
真空(可選) | 超真空兼容(5x10”) | mbar |
*真空版型號:JKZC-ST-5CD-HV
5、適配控制器
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