氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品概述：
- FS4000是美國矽翔微機(jī)電系統(tǒng)有限公司采用的微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感器技術(shù)和智能電子控制技術(shù)，專為普通氣體流量監(jiān)測開發(fā)的產(chǎn)品。
- 該傳感器能直接測量氣體質(zhì)量流量，低壓損。適用于凈化空氣或氮?dú)饬髁勘O(jiān)控，還可用于環(huán)境采樣器（如色譜分析儀器等）
- FS4003流量傳感器，管道內(nèi)徑為3mm，成本低測量范圍到5SLPM；適用于粒子計數(shù)器和各類分析儀器。
- FS4008流量傳感器，管道內(nèi)徑為8mm，測量范圍到50SLPM；可用于麻醉設(shè)備、潔凈氣體檢測，如：空氣采樣機(jī)，氣體分析儀等
氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設(shè)計
- 支持多種連接方式，易于安裝與使用
- 傳感芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補(bǔ)償，保證了傳感器的高精度計量
- 在單個芯片上實(shí)現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達(dá)到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)或由上位機(jī)查詢輸出數(shù)據(jù)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
- 零點(diǎn)穩(wěn)定度高
- 全量程高穩(wěn)定性、高精確度和優(yōu)良的重復(fù)性
- 低功耗、低壓損
- 響應(yīng)速度快
氣體質(zhì)量傳感器FS4003的產(chǎn)品的技術(shù)參數(shù)：
| 性能參數(shù) | FS4003 | FS4008 | 單位 |
| 通 徑 | 3 | 8 | mm |
| 流量 | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
| 量程比 | ≥100:1 | ||
| 精 度 | ±(1.5+0.2FS) | % | |
| 重復(fù)性 | 0.25 | % | |
| 零點(diǎn)輸出飄移 | ±30 | mV | |
| 輸出飄移 | ±0.12 | %/℃ | |
| 響應(yīng)時間 | 10（默認(rèn)，50，100，200，500，1000可設(shè)置） | msec | |
| 工作電源 | 8~18Vdc,50mA | ||
| 輸出方式 | 線性，RS232/RS485,模擬電壓0.5~4.5Vdc | ||
| 流量壓損 | 100 | 600 | Pa |
| 工作壓力 | 0.5 | MPa | |
| 工作溫度 | -10 ~ + 55 | ℃ | |
| 存儲溫度 | -20 ~ + 65 | ℃ | |
| 工作濕度 | <95%RH（無結(jié)冰、無凝露） | ||
| 機(jī)械接口 | BSPT1/4（R1/4）,4mm/6mm/8mm快速接頭 | ||
| 校準(zhǔn)方式 | 空氣（或其他氣體），20℃，101.325kPa | ||
| 重量 | 57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭) | g | |
輸出方式為傳感器的標(biāo)準(zhǔn)輸出方式，用戶可根據(jù)不同需求選擇RS232或RS485輸出。
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