HORIBA SEC-E40質量流量控制器
HORIBA SEC-E40質量流量控制器不根據使用環境的溫度和供氣的壓強的變化受影響，而是自動調整至根據電力信號得到的設定流量值。流量大致可區分為“體積流量”和“質量流量”。體積流量由于受到計測時環境溫度和壓力的影響，如果需要準確測定時，必須對溫度和壓力進行調整。而質量流量計在測定流量質量的時候，不容易受到環境溫度和壓力等外在因素影響而能準確的進行流量測定。在必須對流量進行準確的管理或是需要構筑自動化生產線時，質量流量控制器作為的一種設備，在極大的領域內被廣泛的使用著。例如半導體工業、太陽能光電工業和微加工制造業等。
HORIBA SEC-E40質量流量控制器主要用途：
工業爐、熱處理爐用可燃燒氣體控制
針焊用可燃燒氣體控制
氫氣 、氧氣、丙烷、氬氣等為首的各種可燃燒氣體的流量控制
清洗氣體的流量控制
實驗裝置上的氣體流量控制
要求需要自動化的流量控制設備
希望把握所消耗流量總量的設備等
HORIBA SEC-E40質量流量控制器的特征：
以魅力、價格實現從微小流量到大流量的控制；
高速響應，1秒內達到流量設定值。搭載了設計的控制回路和高速應對的流量感應器，根據所接收到的電力信號，流量的初期安定性比較好，通過流量變化的實施程序使得能一直保持安定的流量進行測控。（大流量對應型號：SEC-E80在2秒內應對）
高精度，±1.0％F.S
高信賴性，具備自動調零功能
可進行準確的質量流量控制；所謂質量流量控制器，是計測質量流量，可根據所接收的電力信號，自動的進行任意流量的一種控制器。因此，即使使用環境（如溫度、壓力）發生變化變化，也不必進行修正，就能準確的進行質量流量控制。
采用自動流量功能閥門；流量控制閥門由于是采用自動流量功能功能控制型，當本體電源無供給時，閥門將自動調整為關閉狀態。停電時也可以將流量控制在最小限度內。
HORIBA SEC-E40質量流量控制器的工作原理：
1、入口處進來的氣體被分流到流量感應器和旁路處。
2、通過感應器得到按質量流量比例形成的溫度變化信息，在回路中交換成電力信號。
3、該信號通過增幅回路、修正回路、以0-5V的線性電力信號向外部輸出，另一方面又輸入至比較控制回路中。
4、外部得到的設定信號和從感應器處得到的流量信號在比較回路中形成差異信號，再輸送至下一個的閥門驅動回路中。
5、流量控制閥門盡可能使該差異信號將為“0”，使流量一直控制在設定流量。
HORIBA SEC-E40質量流量控制器的規格
質量流量控制器 | 質量流量控制器SEC-E40 |
適用氣體種類*1 | 非腐蝕性氣體 |
氣體接觸部材質 | SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 |
閥門型號 | 非通電時 關閉 |
標準流量量程 (N2相應F.S.) | 10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM |
流量控制范圍 | 2-99% F.S. |
流量測量范圍 | 0-99% F.S. |
響應速度 | 1秒以內(T98) |
流量精度 | ±1% F.S. |
直線性 | ±0.5% F.S. |
反復性 | ±0.2% F.S. |
工作差壓值值 | 10 SCCM-5 SLM：50-300kPa(d) 10?30 SLM:100-300kPa(d) |
使用壓力 | 300kPa(G)以下 |
耐 壓 | 1MPa(G)以下 |
外部泄漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He)以下 |
使用環境溫度 | 5-50℃(精度的確保：15-35℃) |
流量設定信號 | 0.1-5VDC(輸入阻抗1MΩ以上)/2-99% F.S. |
流量輸出信號 | 0-5VDC(最小負荷電阻2kΩ) |
驅動電源 | +15VDC ±5% 50mA -15VDC ±5% 150mA 3VA |
標準接頭*2 | 1/4SWL 類型 |
*1:關于記載以外的氣體種類，請另行咨詢協商。
*2也可以適用標準接頭以外的接頭。請另行咨詢協商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭載有自動清零功能。
※入口壓力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：值300kPa(G)；SEC-70/80：值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示氣體的流量單位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的記號。
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