● 最小增量步距: 0.035微弧度( 0.007弧秒)
● 重復性: < 0.4微弧度( < 0.08弧秒)
● 軸向運動誤差: < 50納米同步; < 10納米異步
● 徑向運動誤差: < 75納米同步; < 10納米異步
空氣軸承旋轉(zhuǎn)主軸
ABRT-400是Aerotech的 μARC 角度和旋轉(zhuǎn)裝置校準系統(tǒng)的核心。ABRT-400是一個大的具備納米級誤差運動性能的旋轉(zhuǎn)空氣軸承主軸。這種高精度空氣軸承主軸是用鋼緊密配合μARC周圍的花崗巖結(jié)構(gòu)的CTE建造的。空氣軸承配備有不影響旋轉(zhuǎn)的接頭和滑環(huán)以通過真空或空氣,并且實現(xiàn)電氣連接到被測裝置。
ABRT-400可以用作高精度測量設備的標準角度標定,X射線衍射,蛋白質(zhì)結(jié)晶或高精度加工應用。

















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