OTF-1200X-III-HVC是由OTF-1200X-III三溫區(qū)管式爐,二路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機組組成。其工作溫度可達1200℃,極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內(nèi)部。
技術(shù)參數(shù)
| OTF-1200X-III 管式爐 | 殼體結(jié)構(gòu) |
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| 爐管材料 | 采用高純石英爐管 | |
| 功率 | 2.5KW | |
| 輸入電源 | AC 208-240V 單相, 50/60Hz | |
| 加熱元件 | Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo,(電阻絲表面涂有氧化鋯涂層,的延長加熱元件的使用壽命) | |
| 工作溫度 | 加熱溫度.: 1200°C | |
| 升溫速率 | 1~20°C/min 可編程 | |
| 加熱區(qū)長度 | 總加熱區(qū)長度: 880mm (220mm + 440mm + 220mm) 三個溫區(qū) | |
| 溫度控制 |
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| 真空法蘭 |
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| 輸入電源 | AC 208-240V 電源, 50/60Hz | |
| 外型尺寸 | 1100(L) x 450(W) x 670(H), mm | |
| 高真空機組 | 殼體 |
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| 抽氣速率 |
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| 工作范圍 | 1000 mbar 到 <1E-7 mbar | |
| 極限 | <1E-8 mbar | |
| 質(zhì)量流量控制器 | 殼體 |
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| 功率 | 18W | |
| 工作電源 | AC 208-240V, 單相 50/60Hz |
| 凈重 | 100Kg |
| 質(zhì)保期 | 一年質(zhì)保期,相關(guān)耗材除外,如爐管,密封圈加熱元件等易耗件 |
| 質(zhì)量認證 |


















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