OTF-1200X- S50- 2F 1200℃微型二通道混氣CVD系統

高溫爐

殼體

• 采用雙層殼體
• 爐膛采用多晶氧化鋁纖維，減小能量損失
• 內爐膛表面涂有1750℃美國進口的高溫氧化鋁涂層材料提高反射率及設備的加熱效率和爐膛潔凈度，同時延長儀器的使用壽命

功率

1.75KW

電壓

AC -220V

溫度

• 工作溫度：1200℃（< 1hr）
• 連續工作溫度1100 ℃
• 升溫速率 <= 10C/min

爐管

石英管50 x 43 x 450mm (O.D x I.D x Length)

加熱區

• 加熱區長度: 8" (200mm)
• 恒溫區長度: 2.3" (60mm) (+/-1°C) @ 900 °C

溫控系統

• PID30段程序化控溫
• 控溫精度: +/- 1℃

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁（表面涂有氧化鋯涂層，使其延長儀器使用壽命）

兩路混氣系統

• 兩個浮子流量計量程為16 —100mL/min
• -0.1-0.15 MPa, (0.01 MPa/grit)
• 三個機械壓力表：-0.1-0.15 MP
• 混氣箱上安裝有一不銹鋼針閥
• 后端裝有φ6.35卡套接頭，無需通電
• 外型尺寸: 340Lx300Dx 180H, mm ( 13.4"x12"x7").
• 凈重: 14 lbs.

真空法蘭和配件

標準真空配件:

• 一個數字式真空顯示計
• 一個φ6.35的卡套接頭
• 兩個KF25轉接頭
• 一個600mm的不銹鋼波紋管
• 可選法蘭：本公司生產的帶鉸鏈式法蘭
• 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換
  

真空泵

• 規格: 2XZ-2雙旋真空泵
• 抽氣速率:120 liter/m
• 功率:1/2HP 375W
• 油箱容積: 1000ml

產品凈重

100 lbs

產品尺寸

• 爐體:340 x 300 x 400mm
• 真空泵:440 x 160 x 300mm
• 混氣系統: 340 x 300 x 180mm

運輸重量

200lbs

質保期

一年質保期（不包括爐管、硅膠O型圈和加熱元件等損耗件）

質量認證

CE certified