3D光學輪廓測量儀基本信息
| 型號 | MS150 | MS400 | MS1400 | MS4000 | |
| 測量范圍(mm) | X | 150(可選250) | |||
| Y | 150(可選250) | ||||
| Z | 0.15 | 0.4 | 1.4 | 4 | |
| 分辨率(μm) | X | 0.05 | |||
| Y | 0.05 | ||||
| Z | 0.007 | 0.017 | 0.05 | 0.11 | |
| 移動速度(mm/s) | X | 1000 | |||
| Y | 1000 | ||||
| 掃描速度(mm/s) | X | 100 | |||
| Y | 100 | ||||
| 高度方向精度(μm) | 0.025 | 0.055 | 0.12 | 0.25 | |
| 最小可測粗糙度Ra(μm) | 0.012 | 0.03 | 0.09 | 0.17 | |
| 載荷(kg) | 25 | ||||
| 機器重量(kg) | 350 | ||||
| 機器外觀尺寸（mm) | 長 | 750 | |||
| 寬 | 800 | ||||
| 高 | 1400 | ||||
| 電源 | AC 220V | ||||
| 功率 | 300W | ||||
| 工作溫度 | 5℃-40℃ | ||||
| 相對濕度 | 5%-80% HR 無冷凝 | ||||
功能與特性
· 測量具有非破壞性，測量速度快，精度高；測量范圍廣，可測透明、半透明、金屬材料、高漫反射、低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…)；
· 尤其適合測量高坡度高曲折度的材料表面，漫反射表面可達87度；
· 不受樣品反射率的影響；
· 不受環境光的影響；
· 測量簡單，樣品無需特殊處理；
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