光譜共焦傳感器控制器技術規格
| 型號 | CCC PRIMA/CCS OPTIMA+ |
|---|---|
| 測量模式 | 位移/厚度 |
| 采樣頻率 | 100-2000Hz/100Hz-10000Hz |
| 編碼器信號輸入 | 最多3軸-TTL信號輸入 |
| 校準表（值） | 20 |
| 光源 | 白色LED光源 |
| 數字量輸出 | 30bits分辨率 |
| 模擬量輸出 | 2路[0-10V]-16bit分辨率） |
| 數字信號輸出 | USB2.0/RS232/RS422 |
| I/O同步接口 | 輸入輸出TTL同步 |
| 通道選擇 | 1/2/4 |
| 工作溫度 | 5℃-40℃ |
| 存儲溫度 | -30℃-70℃ |
| 防水等級 | IP40 |
| 尺寸 | 162*111.5*124mm |
| 控制器重量 | 1400g |
| 電源等級 | 24V DC/20V |
光譜共焦傳感器微型測量頭技術參數
| 產品型號 | ENDO 1/D4R | ENDO 0.3/D6 | ENDO 0.3/D6-R | ENDO 1.2/D6 | ENDO 1.5/D6-R | ENDO 0.2/D8 | ENDO 10/D8 L | ENDO 10/D8 LT |
| 測量范圍(µm) | 1000 | 300 | 300 | 1200 | 1500 | 220 | 10000 | 10000 |
| 工作距離(mm) | 1 | 1.3 | 0.9 | 2.3 | 0.9 | 4.8 | 9 | 9 |
| 樣本斜率(°) | 7.5 | 21 | 15 | 13 | 10 | 21.5 | 4.5 | 4 |
| 數值孔徑 | 0.16 | 0.42 | 0.3 | 0.22 | 0.19 | 0.39 | 0.1 | 0.1 |
| 光斑尺寸(µm) | 13.2 | 6.4 | 5 | 15 | 19.5 | 4.6 | 35 | 18 |
| 橫向分辨率(µm) | 6.5 | 3.8 | 2.5 | 7.5 | 10 | 2.5 | 17.5 | 9 |
| 光量收集率 | 10 | 19 | 4 | 46 | 27 | 17 | 28 | 6 |
| 靜態噪音(nm) | 100 | 25 | 40 | 160 | 160 | 25 | 900 | 600 |
| 精度(nm) | 200 | 50 | 80 | 200 | 200 | 50 | 1000 | 1100 |
| 軸向或徑向 | 徑向 | 軸向 | 徑向 | 軸向 | 徑向 | 軸向 | 軸向 | 軸向 |
| 最小可測厚度(nm) | 300 | 20 | 50 | 140 | 200 | 25 | 900 | 450 |
| 長度(mm) | 64 | 70 | 87.3 | 75.2 | 87.3 | 102 | 141 | 141 |
| 直徑(mm) | 4 | 6 | 8 | |||||
| 重量(g) | 3.5 | 12 | 13 | 10 | 13 | 20 | 26 | 26 |
共焦傳感器光纖線規格（可選配以下）
| 型號 | 長度 | 內徑 | 外徑 | 外殼 | 連接器類型 |
| E50-3 | 3m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
| E50-5 | 5m | 50/125μm | 3mm | 標準 | E2000 |
標準型光纖線 鎧甲護套型光纖線
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