一、brooks氣體質量流量計概覽
Brooks的數字與模擬熱式質量流量控制器具有業界一的性能—我們的許多產品都已連續工作了20年以上。我們的新型熱式質量流量設備在響應時間、精度、可重復性、調節比及自診斷方面均具有顯著的優勢。
我們的熱式質量流量產品還通過了多種防護（IP）認證，適用于多種危險場所。
二、brooks氣體質量流量計產品特點
· 較低的泄漏率
· 結構緊湊
· 內螺紋排氣口拋光處理
· 常閉閥
· 對安裝位置不敏感
三、brooks氣體質量流量計技術參數
BROOKS SLA5850S型流量控制器能精確的測量和控制氣體流量。其核心是一個可拆卸的測量氣體流量的探頭，該探頭產生跟流量成線性比例的電輸出信號用來顯示、記錄和/或控制。該裝置不需要氣體壓力進行連續的監測和重新調整就可以提供穩定的氣體流量。
設計特性：
·易維護
·快速響應設定變化
·可忽略過沖/下沖影響
·可拆除傳感器
·對安裝方位不要求
·較大的流量控制范圍（ 可達30 sl/min N2）
·外置零點和量程調節電位器
·跳線可設定軟啟動
·可設定外部電磁閥控制
·不要求中止流量
·常閉閥（可選常開閥）
·可兼容其他流量控制器
·抗腐蝕
操作原理
BROOKS流量控制器運用熱動力學原理，一個有精確電源的加熱器為內有連續穩定氣流的
傳感器套管的中部加熱，在同一套管距加熱器等距的地方各有一個電阻性的溫度測量元件。
沒有氣流時，到達兩個溫度測量元件的熱量是相等的：有氣流時則氣流帶走熱量，兩溫度
測量元件就有了溫度差異，溫度差異的大小和流量的大小成正比。該溫度差異通過橋式電
路來反映，然后放大裝置，以0－5V的輸出電壓輸出到控制電路。
◎在無流量的情況下，熱量會均勻的分散在每個溫度元件中，隨著流量的增加，流體帶著
熱量從上游（該處溫度為T1）到達下游，則下游溫度上升（該處溫度為T2），不同的溫
度上升通過兩處元件顯示，這種差異均衡的計量了氣流或流速，電路顯示溫度的不同而
放大器提供輸出量給控制電路也就是0.5伏的輸出信號。控制電路比較設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，控制閥*關閉，控制閥由它的控制
電路控制能*打開或關閉。◎
控制電路比較設定要求值和輸出流量信號，然后控制精確電磁閥。當設定值低于2％時，
控制閥*關閉，控制閥由它的控制電路控制能*打開或關閉。
!警告
請勿在超過如下規格書說明范疇外操作本儀器，忽視此警告可能造成一系列對該儀器的
損壞或損傷。
流量范圍
相當于0－3 sccm到0－3000 sccm氮氣（N2）的范圍
在SEMI（半導體設備和材料協會）標準壓力和溫度（0oC和101kPa）條件下測得
注：滿程流量范圍大于50 sccm
性能：校準后為滿量程±1％，大于20slpm時為滿量程±1.5％。
可重復性：0.25％
控制范圍：50：1
安裝狀態靈感度：復零后，比精確度誤差不到±0.5％量程。
溫度敏感度：零點：小于±0.075％量程每攝氏度
量程：比 校準刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度）
壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2)
輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻）
輸出信號：輸出0－5伏直流到2000歐姆或更高的負荷
輸出5±0.1伏直流（參考）， 壓損根據氣體和周圍環境具體而定）
溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC）
*泄漏，外界：1×10-9cc/s
功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm）
3.5瓦特，直流15伏◎35mA,-15伏@180mA
常開閥/流量>2.5slpm
10.5瓦特，直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA
構造材質：
標準接液部分采用不銹鋼材質，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N
連接：
硬件連接：標準9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR
電氣連接：卡連接器（鍍金）或D型連接器（DA－15P）
· 數字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
· 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
· 流量范圍:0.03-30slpm
· 量程比：50:1
· 工作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
· 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重復性：0.25% of rate
· 響應時間：1-3s
· 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
· 操作溫度范圍：5~65℃
· 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
· 數字信號/模擬信號輸出,可通過電腦直接顯示控制,可配單/四/八通道顯示控制器
· 介質:可選H2,O2等非腐蝕性氣體或SiO2,SO2等腐蝕性氣體
· 流量范圍:0.03-100slpm
· 量程比：50:1
· 作壓力: 1500psi(10.432Mpa)
· 氣路接頭: 1/4"VCR或1/4"SWG
· 電氣接頭:15 Pins D-Type或Card-edge
· 精度:±1%FS
· 重復性：0.25% of rate
· 響應時間：1-3s
· 差壓要求：3-6bar（壓差要求與介質、量程有關）
· 操作溫度范圍：5~65℃
· 輸出信號：0-5VDC或4-20mA
· 電源：+/-15V
?四、brooks氣體質量流量計其他系列產品
· SLA5800S---數字型氣體質量流量計/控制器
· SLA5800 enhanced series
· 4800 series
· 5800S series
· 5851EM
美國Brooks Instruments（布魯克斯）作為EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，專門從事流量計產品的
生產。主要生產的產品有：金屬轉子流量計、玻璃轉子流量計、科氏力質量流量計、熱式質量流量計、
氣體質量流量控制器等。內置微處理器，智能化、數字化。
布魯克斯一代氣體質量流量計/流量控制器5800S系列
軟件組態，數字通訊，支持微軟Windows動態數據交換。
測量精度：0.2% F.S. 量程比： 50:1流量測量范圍：0.003L/Min - 6000 L/Min操作壓力：300Bar Max.
( 4500 psi )響應速度：0.2 Sec操作溫度：0 - 70 ℃ (32 - 158 ℉)材質：316配電：+24Vdc
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