石英管式微波等離子體發生裝置

石英管式微波等離子體發生裝置
  (一)性能概況
1、微波2.45GHz；0～500W或0～1000W足額功率，連續可調；
2、本底真空不劣于10Pa；工作氣體分3路控制流(入)量；
3、Φ50mm或Φ90mm石英管反應室，置于微波系統和真空系統的偶合點上；
4、制冷循環水冷卻。
                                (二)典型實驗
1、化學氣相沉積制備金剛石薄膜、碳納米材料等；
2、集成電路等的刻蝕；
3、可催化引發常規化學很難實現的反應；
4、高分子、金屬、生物材料表面改性。
                                 (三)產品特色
1、微波準零泄漏，確保人身安全；
2、微波足額功率，等離子體活力強勁；
3、樣品升降架精巧豪，可加熱可冷卻；
4、制冷循環水避免長流水費水擾民；
5、循環水機可聯機可獨立使用；
6、缺水保護報警功能*可靠；
7、排氣口有環保型油霧過濾器；
8、電控系統功能*靈便醒目；
9、整機造型典雅大氣。