說明
PTR 237 N PENNINGVAC 系列真空變送器可提供從 1×10-8 毫巴到 5×10-3 毫巴的較大測量范圍,基于對冷陰極電離電流的測量結(jié)果。
配備 RS232 數(shù)字通信接口 (P/N: 89642V02) 或 EtherCAT 數(shù)字通信接口 (P/N: 230703V02) 的變送器版本可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實(shí)時(shí)壓力測量結(jié)果。更多詳情,請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232) 和 300544664 (EtherCAT)。(P/N: 230703V02)
這些變送器用途廣泛,可用作獨(dú)立裝置,或用于 Graphix 控制器 (P/N: 230680V01、230681V01、230682V01) 和 Display 控制器 (P/N: 230001、230024、230025)。所有 PENNINGVAC 變送器均可向下兼容 Graphix、Display 和 Center 控制器。
每臺變送器在出廠前已逐臺進(jìn)行全量程測試。測試報(bào)告隨附在包裝中。此外,每個(gè)變送器壓力讀數(shù)均在操作溫度范圍內(nèi)逐一得到溫度補(bǔ)償。
變送器擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖。模擬電壓輸出可連接至外部模擬設(shè)備,獲取壓力讀數(shù),或進(jìn)行壓力控制。
傳感器技術(shù)
冷陰極反磁控管采用高電壓陽極、陰極和永磁體。電子向陽極加速,并將通過碰撞而使分子離子化。磁場使電子偏轉(zhuǎn),從而使電子在穿過磁場前往陽極時(shí)做螺旋形移動(dòng)。這種螺旋運(yùn)動(dòng)增大了電子遇到分子并使分子離子化的機(jī)會(huì)。
分子離子化產(chǎn)生電流,該電流是壓力的函數(shù)。
FAQ (常見問題解答)
應(yīng)用
問: 變送器和傳感器元件能否持續(xù)承受機(jī)械前級泵的振動(dòng)?
答: 能,冷陰極傳感器能夠承受持續(xù)振動(dòng)。
問: 變送器能否兼容氟氣?
答: 不能,變送器不應(yīng)在侵蝕性環(huán)境中使用,比如半導(dǎo)體蝕刻用途。
問: 通過閥門閉合將變送器抽真空并隔離,壓力卻升高了。變送器是否泄漏?
答: 不太可能,密閉空間排空且泵抽停止時(shí),壓力會(huì)因?yàn)橐运魵鉃橹鞯尼寶舛仙r(shí)間一久,壓力很容易升至數(shù)毫巴。
問: 當(dāng)使用氦泄漏檢測器測試變送器是否泄漏時(shí),泄漏讀數(shù)在約 30 秒后緩慢上升。變送器是否泄漏?
答: 未泄漏,變送器內(nèi)部密封使用了彈性體 FPM 密封,因此氦分子可滲透 FPM 材料,導(dǎo)致氦泄漏讀數(shù)緩慢增長。如果直接使用氦泄漏檢測器測試泄漏的變送器,則幾乎會(huì)瞬間顯示泄漏。
問: 變送器是否可以安裝在任何方向?
答: 可以,變送器可以在任何方向安裝,不會(huì)損及性能或校準(zhǔn)。但是,為了避免顆粒或液體等污染進(jìn)入設(shè)備,建議您不要將變送器的法蘭口向上安裝。
問: 變送器可以承受瞬間通風(fēng)嗎?
答: 可以,冷陰極傳感器元件對機(jī)械力的耐受力,可以承受連續(xù)壓力循環(huán)和瞬間空氣通風(fēng)。不建議在冷陰極開啟時(shí)執(zhí)行瞬間通風(fēng)。
問: 可否連接將由變送器繼電器觸點(diǎn)控制的閥門?
答: 閥門等驅(qū)動(dòng)感應(yīng)式負(fù)載需要采取特殊的預(yù)防措施。請參閱第 4.4 章。
問: 變送器可以承受多少次壓力循環(huán)?
答: 冷陰極傳感器元件對壓力變化的機(jī)械承受力很強(qiáng),壓力循環(huán)的次數(shù)不會(huì)影響變送器的使用壽命。在出現(xiàn)快速壓力循環(huán)的應(yīng)用中,冷陰極傳感器可能發(fā)生濺射,從而導(dǎo)致精度變化。
問: 冷陰極傳感器腔室變色了,這是為什么?
答: 如果冷陰極在高壓 (>1.00E-4 毫巴) 下操作,則冷陰極離子化電池的內(nèi)壁可能被濺射。這將改變內(nèi)部測量腔室的顏色,還有可能導(dǎo)致測量精度變化。
模擬輸出
問: 模擬輸出的更新率是?
答: 每秒 16 次。
問: 模擬輸出電纜的長度是?
答: 模擬電纜長度取決于電纜質(zhì)量和電氣噪音環(huán)境,但除了電纜必須屏蔽之外,對長達(dá) 100 米的電纜長度一般不需要采取任何特殊的預(yù)防措施。
問: 數(shù)字讀數(shù)正確,但模擬輸出讀數(shù)與實(shí)際壓力有些偏差,怎么辦?
答: 檢查確保模擬輸出連接到浮置輸入,而非接地輸入。如果連接的模擬輸出回路接地,電源電流將流入信號線路,并導(dǎo)致壓降和接地回路的形成。
數(shù)字輸出
問: 通過數(shù)字接口請求壓力測量的速度有多快?
答: 每秒 10 次是推薦的壓力請求頻率。
問: 從開機(jī)到有效測量值要等多長時(shí)間?
答: 開機(jī)順序約為 2 秒。開機(jī)順序期間,燈環(huán)亮起紅光,數(shù)字接口對命令無回應(yīng)。開啟高壓后,冷陰極會(huì)進(jìn)行幾分鐘穩(wěn)定。
問: 變送器數(shù)字通信回應(yīng)中為何有時(shí)會(huì)丟失首字符?
答: 這可能是由變送器通信回應(yīng)過快而導(dǎo)致的。請參閱通信協(xié)議 300544663 (RS232)。
校準(zhǔn)和調(diào)整
問: 變送器需要的校準(zhǔn)或零位調(diào)整頻率是?
答: 這取決于應(yīng)用和壓力范圍,但是在眾多應(yīng)用中無需用戶調(diào)整。暫時(shí)或影響測量性能的因素是污染、腐蝕、熱和電子干擾。
問: 電源關(guān)閉后,變送器是否會(huì)保留用戶校準(zhǔn)?
答: 會(huì),包括校準(zhǔn)資料在內(nèi)的所有變送器參數(shù)都存儲(chǔ)在變送器的非易失性存儲(chǔ)器內(nèi)。
服務(wù)和維修
問: 如果傳感器元件被污染,能否更換?
答: 能,可遵循第 9 章說明的步驟更換冷陰極陽極和陰極片。
問: +24 伏直流電源電壓連接到了模擬輸出+。變送器是否損壞?
答: 有可能,在向輸出引腳通電時(shí),模擬輸出不受保護(hù)。
問: 反向電壓連接到了電源輸入。變送器是否損壞?
答: 不太可能,變送器電源電路具有反向電壓和超壓保護(hù),但是 Leybold 不保證變送器不會(huì)因此損壞。
問: 狀態(tài) LED 為何不斷亮起紅光?
答: 當(dāng)冷陰極已開啟,但未成功引燃 5 分鐘后,此 LED 將變?yōu)榧t光。