一維二維等間距柵格標(biāo)準(zhǔn)樣板JJF1916-2021

JJF1916-2021掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

貨號(hào)：AUBAT-1916S

等間距柵格標(biāo)準(zhǔn)樣板
一維柵格 
測(cè)長(zhǎng)示值誤差
二維柵格 
正交畸變，線性失真度

校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器 掃描電鏡校準(zhǔn)項(xiàng)目所采用的標(biāo)準(zhǔn)樣板為等間距柵格標(biāo)準(zhǔn)樣板，包含 5 個(gè)以上周期根據(jù)所校準(zhǔn)的放大倍數(shù)，選取相應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)樣板，如表所示。

校準(zhǔn)方法：

1 測(cè)長(zhǎng)示值誤差

調(diào)整樣品臺(tái)，旋轉(zhuǎn)標(biāo)準(zhǔn)樣板使柵格的線條沿著豎直方向，柵格間距的測(cè)量方向沿著圖像的 X 軸。記錄掃描圖像以及對(duì)應(yīng)的放大倍數(shù)對(duì)圖像上 X 方向的柵格間距進(jìn)行測(cè)量。連續(xù)測(cè)量 3 次，取平均值。對(duì)于放大倍數(shù)在 20 萬(wàn)倍以上的測(cè)長(zhǎng)示值誤差校準(zhǔn)，L 可以只包含一個(gè)間距。使線條沿著圖像Y 軸、按照 X 方向柵格間距的測(cè)量方法來測(cè)量Y 方向的柵格間距。測(cè)量值與標(biāo)準(zhǔn)樣板實(shí)際值的差為測(cè)長(zhǎng)示值誤差。

2 正交畸變

二維柵格樣板進(jìn)行測(cè)量，將二維柵格標(biāo)準(zhǔn)樣板的圖像中水平線條調(diào)整為沿著 X 方向。選取 X、Y 方向 5 個(gè)間隔周期以上測(cè)量長(zhǎng)度，用掃描電子顯微鏡的圖像測(cè)量軟件測(cè)量柵格圖像上橫向與縱向柵格方向的夾角，與標(biāo)準(zhǔn)樣板實(shí)際校準(zhǔn)值的差即為校準(zhǔn)結(jié)果。