二維柵格JJF(滬蘇浙皖)4001-202微納米線間隔

JJF(滬蘇浙皖)4001-202微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范

貨號(hào)：AUBAT-4001

二維柵格

JJF(蘇)246-2013微納米線間隔標(biāo)準(zhǔn)樣板校準(zhǔn)規(guī)范(參考長(zhǎng)三角技術(shù)規(guī)范JJF(滬)4001-2021)

校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法

平均線間隔

使用計(jì)量型掃描探針顯微鏡掃描被測(cè)樣板，掃描前應(yīng)確定與柵格結(jié)構(gòu)正交的掃描方向，沿正交掃描方向掃描樣板特征區(qū)域。選3 個(gè)測(cè)量區(qū)域，在每個(gè)測(cè)量區(qū)域內(nèi)進(jìn)行掃描，掃描曲線數(shù)應(yīng)不少于 3 條，每條掃描曲線應(yīng)包含6 個(gè)以上線間隔；通過(guò)重心法，對(duì)每條曲線分別進(jìn)行線間隔計(jì)算：選取每個(gè)刻線高度在中線以上的所有測(cè)量點(diǎn)坐標(biāo)值，按公式得到該節(jié)測(cè)量方向上的重心坐標(biāo)值。

二維柵格線的正交角度

進(jìn)行二維線間隔正交性測(cè)量時(shí)，在有效測(cè)量區(qū)域采用面掃描或十字垂線的掃描方式進(jìn)行平均線間隔的計(jì)算。分別記錄X 測(cè)量方向和Y測(cè)量方向各測(cè)量點(diǎn)的（X、Y）坐標(biāo)值，并通過(guò)公式計(jì)算X、Y測(cè)量方向的斜率。如此連續(xù)測(cè)量 10 次，按式計(jì)算 10 次的平均值作為二維納米線間隔柵格樣板正交性的測(cè)量結(jié)果。

線間隔均勻性

以測(cè)量區(qū)域中心線為中心測(cè)量線，兩側(cè)分別取 5 條均勻分布的測(cè)量線，測(cè)量線間隔（d）根據(jù)測(cè)量區(qū)域的大小確定，以均勻覆蓋測(cè)量區(qū)域?yàn)樵瓌t。分別對(duì)每條測(cè)量線上的線間隔進(jìn)行一次測(cè)量，以 11 條測(cè)量線間隔的實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)差作為線間隔均勻性的測(cè)量結(jié)果。