便攜式粗糙度全自動長軸輪廓儀

Z軸(立柱)

200mm

Z1(傳感器)

60mm

Z軸示值誤差

±(2.5+0.02L)μm

Z1軸指示精度

±(3+0.02H)μm

粗糙度示值穩定性

≤±7%

粗糙度測量重復性

±3%

線性精度

≤±0.05%FS

曲率示值誤差（mm)

±(3+R/12)μm

曲率示值重復性

±3μm

角度示值誤差

±2.5′

角度示值重復性

±1%

評定長度

λcx3、4、5、6、7

截止波長

0.025、0.08、0.25、0.8、2.5、8mm

爬坡角度

上升77°，下降88°

項目

參數

X軸*大測量范圍

1550mm

Z1(傳感器)

20mm

Z立柱行程

750mm

X軸示值誤差

±(2.5+0.002L)μm

Z1軸指示精度

±(0.5+0.02H)μm

直線度

0.8μm /100mm 4μm/全長

分辨率

0.5μm

類型

光柵傳感器

分辨率

0.05μm

Y向調節

±10mm

偏擺調節

±6?

升降V型鐵范圍

200mm

承載

750KG

爬坡角度

上升82°，下降89°