電子工業(yè)潔凈室檢測方案

蘇州益康環(huán)境檢測有限公司

電子工業(yè)潔凈室檢測方案

潔凈室檢測項目：換氣次數(shù)（風(fēng)速）、壓差 、溫度、濕度、噪音、照度、潔凈度（塵埃粒子）

客戶單位：***電子公司

檢測儀器清單

1、風(fēng)量或風(fēng)速測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 對于單向流潔凈室，應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量，并應(yīng)取離高效過濾器 300mm 垂直于氣流的截面作為測試平面。應(yīng)將測試平面分成相等的柵格，每個柵格尺寸應(yīng)為 600mm×600mm 或末端空氣過濾器尺寸，測點應(yīng)在柵格中心或不應(yīng)少于 3 點。每一點的測試時間不應(yīng)少于 10s。應(yīng)記錄平均值、最大值和最小值，并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2 對于非單向流潔凈室，每一點的測試時間不應(yīng)少于 10s。

3 在每個末端空氣過濾器風(fēng)罩法等測量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量，每個測試位置的測點數(shù)不應(yīng)少于 3 點。

2 靜壓差測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 靜壓差的測定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時進行。

2 儀器宜采用各種型式的微壓計，儀表靈敏度應(yīng)小于 1.0Pa。

3 潔凈廠房有多個潔凈室（區(qū)）時，應(yīng)從最里面的房間與相鄰房間的壓差測試開始，并應(yīng)按順序向外進行檢測。

4、每個房間取一個點測試

3. 潔凈度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 應(yīng)使用采樣量大于 1l/min 光學(xué)粒子計數(shù)器，應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書。

2 最少采樣點應(yīng)按下式計算：

NL=√A式中  ——最少采樣點；

( A ) ——潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積（m2）。

采樣點應(yīng)均勻分布于潔凈室（區(qū)）的整個面積內(nèi)，并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3 每一采樣點的每次采樣量應(yīng)按下式確定：

VS=[20/Cn,m]í100

式中  Vs ——每個采樣點的每次采樣量，以L 表示，當(dāng)Vs很大時，可使用順序采樣法。每個采樣點的最小采樣時間為 1min，采樣量應(yīng)至少為 2l；

Cn,m——被測潔凈室空氣潔凈度等級的被測粒徑的限值（p/m3）；

20 ——在規(guī)定被測粒徑粒子的空氣潔凈度等級限值時，可測到的粒子顆數(shù)（顆）。

各級潔凈室單個采樣點采樣量計算結(jié)果

1. 百級潔凈室（如 1 車間、2/3 實驗室）

?≥0.5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/3520] í100=0.568L

·         因計算結(jié)果（0.568L）＜2L，需按強制要求取 2L。

?≥5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/29] í100=68.97L

• 實際執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：百級潔凈室單個采樣點需按≥68.97L 采樣（兼顧兩種粒徑），用 100L/min 計數(shù)器，采樣時間1分鐘

2. 千級潔凈室（如 5 車間）

?≥0.5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/35200] í100=0.0568L

·         因計算結(jié)果（0.0568L）＜2L，需按強制要求取 2L。

?≥5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/293] í100=6.83L

• 實際執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：百級潔凈室單個采樣點需按≥68.97L 采樣（兼顧兩種粒徑），用 100L/min 計數(shù)器，采樣時間1分鐘

3.萬級潔凈室

?≥0.5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/352000] í100=0.00568L

·         因計算結(jié)果（0.00568L）＜2L，需按強制要求取 2L。

?≥5μm 粒子采樣量：

·         VS=[20/Cn,m]í100= [20/2930] í100=0.683L

• 實際執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：萬級潔凈室單個采樣點統(tǒng)一按≥2L 采樣，使用任意流量計數(shù)器時，采樣時間≥1min（如 100L/min 計數(shù)器采樣測試1分鐘）

4、采樣次數(shù)

采樣點位不得少于2個，總采樣次數(shù)不少于5次

4、溫度、相對濕度的檢測，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 溫度、相對濕度的檢測應(yīng)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測試，并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運轉(zhuǎn)合格后安排進行。溫度濕度檢測應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運轉(zhuǎn)，并應(yīng)至少穩(wěn)定運行后進行。

2 相對濕度檢測應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格，每格最大面積應(yīng)為 100m2，應(yīng)每格一個測點，但每個房間不應(yīng)少于 2 個測點。

3 檢測用探測器應(yīng)設(shè)在潔凈室（區(qū)）內(nèi)的工作高度，且距潔凈室（區(qū)）的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于 300mm。并應(yīng)考量潔凈室（區(qū)）內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4 檢測時間應(yīng)至少 1.0h，并應(yīng)至少 6min 進行 1 次（30s）讀數(shù)、記錄。

5.照度測試，應(yīng)符合下列規(guī)定：

1 潔凈室（區(qū)）內(nèi)照度檢測宜采用便攜式自動記錄照度計。

2 照度檢測應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進行。潔凈室（區(qū)）照度檢測不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3 照度檢測點應(yīng)設(shè)在工作高度，宜距地面 0.85m，應(yīng)每 25m2 設(shè)一個測點。

6、 噪聲的檢測

E.6.1 一般情況下可只檢測 A 聲級的噪聲，必要時可采用帶倍頻程分析儀的聲級儀，按中心頻率 63、125、250、500、1000、2000、4000、8000Hz 的倍頻程檢測，測點附近 1m 內(nèi)不應(yīng)有反射物。聲級計的最小刻度不宜低于 0.2dB（A）。

E.6.2 測點距地面高 1.1m。面積在 15m2 以下的潔凈室，可只測室中心 1 點，15m2 以上的潔凈室除中心 1 點外，應(yīng)再測對角 4 點，距側(cè)墻各 1m，測點朝向各角。

E.6.3 當(dāng)為混合流潔凈室時，應(yīng)分別測定單向流區(qū)域、非單向流區(qū)域的噪聲。

E.6.4 有條件時，宜測定空調(diào)凈化系統(tǒng)停止運行后的本底噪聲，室內(nèi)噪聲與本底噪聲相差小于 10dB（A）時，應(yīng)對測點值進行修正：相差（6～9）dB（A）時減 1dB（A），相差（4～5）dB（A）時減 2dB（A），相差 3dB（A）時減 3dB，相差小于 3dB（A）時測定值無效。

7、判定標(biāo)準(zhǔn)